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前記軸体は、前記各環状凹部に嵌入された2つの前記環状弾性体の間に位置して形成された段差面部と、前記段差面部の大径端より前記先端部側に向かって漸次小さくなる第1のテーパー軸部と、前記基部側の前記環状弾性体よりも前記基部側の位置から前記基部側の前記環状弾性体よりも前記先端部側の領域にわたり前記先端部側に向かって漸次小さくなる第2のテーパー軸部とを有し、

図6には、第5実施形態のハンドリングユニット50の縦断面図(a)、平面図(b)及び正面図(c)を示す。この第5実施形態では、第1実施形態と同様のコレット51、ハウジング52及び作動体53を備え、第1実施形態と同様のコネクタ58を介して流体供給口52pから流体がシリンダ構造52s内に供給可能になっている。このため、第1~第4実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング52が、平坦面52fを備えた外面構造を有する点で第1実施形態と異なる。平坦面52fは、図示例では上面と下面の2面に形成されているが、いずれか一方の面にのみ形成されていてもよい。平坦面52fを設け、この平坦面52fをロボットアーム先端部の取付面に装着する際に、ハンドリングユニット50を取付し易くなるとともに、その取付姿勢の高精度化や取付剛性の強化を図ることができる。

次に、上記とは別の機能実現手段100Cについて説明する。この機能実現手段100Cは、コレット位置検出器S2、又は、把持態様検出器S3~S5の少なくともいずれか一つの検出結果に基づいて、ハンドリングユニット10の位置及び姿勢(或いは、位置と姿勢の少なくとも一方)を修正する手段である。図10において実線で示すフィンガー部11cの位置F1が把持対象物Pに対する適正な位置であり、このときのハンドリングユニット10は適正な位置及び姿勢にある。一方、上記ユニット駆動系の作動ずれなどにより、フィンガー部11cの軸芯(軸線10x)が把持対象物Pに対して上記の正規の位置F1からずれ、異なる位置F2やF3に配置される場合がある。例えば、位置F2では、複数のフィンガー部11cの軸芯が把持対象物Pの中心からやや図示右側へずれている。このような微妙な位置ずれを検出することは難しいが、例えば、上記の把持態様検出器S3~S5を用いることにより、複数のフィンガー部11cが非把持状態から把持状態へ移行する際に、各フィンガー部11cに対応する弾性変形部11bの変形量が検出信号Sdによって時間的にずれて検出されるため、この時間ずれに対応する位置ずれ量と、各フィンガー部11cの時間の先後に対応するずれ方向とを推定して、ユニット駆動系の位置制御量を修正する。なお、複数のフィンガー部11cが把持状態となり、把持対象物Pの把持が完了した時点では、コレット11の自動調芯機能により、把持対象物Pの中心はコレット11の軸芯、すなわち軸線10xに整合した状態とされる。

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その上、本実施形態では、シリンダ構造12sの内面に対する作動体13のシリンダ摺接部13sの気密なシール領域の軸線方向の範囲内に、上記基準部11aと支持面部13bの摺接構造が配置されるので、コレット11(特に基準部11a)の外周側にもシリンダ構造12sの一部が配置されるため、軸線方向のコンパクト化を図ることができる。また、シリンダ構造12sの上記シール領域の内周側に支持面部13bが配置されることで、支持面部13bの支持面の位置及び姿勢の高精度化を図ることができるため、コレット11の把持精度や繰り返し精度をさらに向上できる。

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作動体13の外面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに外形寸法(図示例では外径)が増大する段差構造である外側段部13e(第2の段部)が形成される。この外側段部13eは、上記シリンダ摺接部13s(基端側外面部分)と、上記支持部12kに対して軸線方向10xに移動可能に摺接する被支持部13k(先端側外面部分)の間に形成される。ここで、内側段部12eは外側段部13eに対して軸線方向先端側に形成される。また、上記内側段部12eと上記外側段部13eとの間には、図示例ではコイルばねである作動ばね14(作動体付勢手段)が配置(格納)される。この作動ばね14は、上記流体供給口12pから供給される流体の流体圧が低減若しくは消失したときに、弾性復元力により、作動体13を軸線方向基端側に戻す。これによって、駆動部13cから被動部11tに与えられていた駆動力が低減若しくは消失されるので、コレット11の弾性変形部11bの弾性変形が低減若しくは消失されることにより、複数のフィンガー部11cが把持対象物の把持状態から把持前の非把持状態に対応する半径方向の位置に復帰する。ここで、通気経路13tは、内側段部12eと外側段部13eの間の空間を外部に連通させる。ただし、通気経路13tを形成せずに、当該空間内に圧縮性流体(空気やガスなど)を充填し、これの圧力によって弾性復元力を発揮する上記の作動体付勢手段を構成してもよい。

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